Die Entwicklung der Siliziumspirale für mechanische Uhren begann Anfang der 2000er Jahre. Silizium wurde als Material gewählt, weil es extrem leicht, temperaturstabil, antimagnetisch, korrosionsbeständig und hochpräzise formbar ist.

Aus den Silizium-Wafern werden im Tiefätz-Verfahren DRIE /Deep Reactive Ion Eching( die Komponenten herausgearbeitet.
Die ersten Prototypen von Silizium-Spiralfedern entstanden 2001 beim Forschungslabor CSEM in Neuchâtel, initiiert durch Ludwig Oechslin in Zusammenarbeit mit der Marke Ulysse Nardin.
Als die Marke im Jahr 2001 in der Kollektion Freak erstmals Silizium-Hemmräder präsentierte, bildeten Patek Philippe, Rolex und die Swatch Group eine Allianz zur gemeinsamen Finanzierung der Forschung und Patentsicherung der Siliziumspirale.
Patek Philippe führte 2006 mit dem Kaliber 5300 als erste Marke eine Siliziumspirale namens Silinvar in ihre Uhren ein.

Patek Philippe überzieht seine Siliziumspirale namens Spiromax mit einer feinen thermisch stabilisierenden Oxidschicht.
Die Herstellung erfolgt industriell im Tiefätzverfahren aus monokristallinen Siliziumwafern, was sehr präzise und reproduzierbare Formen ermöglicht. Rolex begann erst 2014 mit dem Einsatz der Siliziumspirale, genannt »Syloxi«, in ihren Uhren.
Das erste Kaliber mit dieser Technologie war das Automatikkaliber 2236. Eine Besonderheit der Rolex Syloxi ist die neuartige Befestigung der Spirale ohne Klebstoff, wodurch die Spirale flach, selbstzentriert und senkrecht fixiert wird. Sie wurde erstmals im Kaliber 2236 verwendet, das in Damenuhren wie der Lady-Datejust zum Einsatz kommt. Die Swatch Group nutzt Siliziumspiralen insbesondere in ihren Co-Axial-Kalibern bei Omega, wo die Spiralfedern den Markennamen Si14 tragen.

Omega kombiniert seine Si14-Siliziumspirale mit dem Spirate-System, das eine Ganggenauigkeit von Null bis plus zwei Sekunden am Tag erreichen soll.
Siliziumspiralen werden von der Swatch Group auch in erschwinglicheren Modellen wie der Powermatic 80-Serie eingesetzt.
Darüber hinaus hat die Swatch Group 2019 in Zusammenarbeit mit Audemars Piguet die neue Metalllegierung Nivachron entwickelt, eine antimagnetische und stoßresistente Unruhspirale als preiswertere Alternative zu Silizium. Im Jahr 2019 präsentierte TAG Heuer eine Autavia Isograph mit einer Spirale aus Carbon. Diese Material besitzt ähnliche Eigenschaften wie Silizium, ist dabei aber leichter.
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